GAS 事業部

VMB (Valve Manifold Box)

製品特徴

- 半導体用特殊ガスを各工程に分配する装備で、非常時自動緊急遮断、消火で現場の安全性を確報する。
- Inlet 1~2 & Outlet 4~12、Customization : 1x4~1x12 type - PLC + Touch Screen
   基盤の自動化システム(OMRON、AB、SIEMENS)
- 作動及び維持補修の全側面に立証した自動化シークエンス
- 1~100SLPM (Max.Flow Rate@N2 Gas)、0.1~0.68MPa、¼” or ½”Tube Stub
- Design Pressure : Max. 150 psig (Low pressure gases、≤ 150 psig)
- 非常停止(EMO)、DC Power Module 二重化
- S-Mark安全認証、特定空圧ガス安全認証(韓、中、米)
- 防爆認証(可燃性)、耐震設計(マグニチュード 7)

付加仕様

Heating Line / UVIR
High Temp Sensor/Leak Detector
Lamp