Chemicals 事業部

Liquid Chemicals Systems

製品特徴

- Vapor systemは高純度のLiquid precursorをVapor化し、Reaction chamberに安定に使えるため制御する完全自動化装備を表します。

- 高純度のLiquid precursorの特性に従った各Purge solutionが適用されており、完璧なpurge cleaningを具現します。

- PLC及びTouchscreenを利用した安定したcontrol及び使用者の便宜を提供します。

- Control box圧力防爆構造を適用して安定した供給を維持し、装備自体には韓国防爆認証(KCs) を取得して非常時の対処が可能です。

- 火事及びLeakに備え内部消化機能を具現