GAS 事業部

Gas Cabinet

製品特徴

- シリンダーの半導体用特殊ガスを供給する装備で、非常時自動緊急遮断、消火で現場の安全性を確報する。
- 自動供給転換方式 (Auto Change Type)- PLC + Touch Screen 基盤の自動化システム
   (OMRON, AB, SIEMENS)- 49~54 Liter 以下供給容器、Customization: 1B/T~3B/T
- 30SLPM (Max. Flow Rate@N2 Gas), 0.1~0.9Mpa、¼” or ½”Tube Stub
- Max. 2,500 psig (High pressure gases、 ≥150 psig)、Max. 150 psig (Low pressure gases、≤ 150 psig)
- 全アラームに使用者設定可能- 非常停止 (EMO)、排気圧力モニタリング- S-Mark 安全認証、
   特定高圧ガス安全認証(韓、中、米)- 防爆認証 (可燃性)、耐震設計 (マグニチュード 7)

付加仕様

Weight Scale / Heating Line
UVIR/Jacket Heater
High Temp Sensor/Valve Shutter
Leak Detector/Lamp